ICP光谱仪，即电感耦合等离子体光谱仪，其工作原理基于 感耦等离子体原子发射光谱分析。具体过程如下：

产生等离子体

使用射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上。

将等离子炬管置于线圈中心，产生高频电复磁场。

用微电火花引燃，使通入炬管的氩气电离，产生电子和离子而导电。

导电的气体制受高频电磁场作用，形成与耦合线圈同心的涡流区，强大的电流产生高热，形成火炬形状的并可以自持的等离子体。

样品处理与原子化

样品经载气（氩气）雾化后，以气溶胶形式进入等离子体轴向通道。

在高温惰性气氛中充分蒸发、雾化、电离和激发，发射出所含元素的特征谱线。

光谱产生与检测

发射出的特征谱线通过分光相机进行分散分光，按波长顺序记录在感光板上，形成光谱图。

用检测器检测光谱中谱线的波长和强度，进行定性鉴定或定量分析。

定性分析与定量测定

根据特征谱线的存在，鉴别样品中是否含有某些元素（定性分析）。

根据特征谱线的强度确定样品中相应元素的含量（定量分析）。

ICP光谱仪具有高温、惰性气氛、高灵敏度和稳定性等特点，适用于测定各种物质中的常量、微量和微量元素的含量。