无尘室粉尘标准主要依据洁净度等级来划分，不同等级对应着不同的空气中的灰尘粒子浓度限制。以下是无尘室粉尘标准的主要内容和等级划分：

十级洁净标准

每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。

百级洁净标准

每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。

千级洁净标准

每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。

万级洁净标准

每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。

此外，国际标准化组织（ISO）也有相应的等级标准，称为ISO14644，它根据每立方米（m³）空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定无尘室的等级。例如：

100级对应ISO14644的5级，1m³内0.5μm的灰尘颗粒为3520个。

1000级对应ISO14644的6级，1m³内0.5μm的灰尘颗粒为35200个。

这些标准为无尘室的设计、建设和维护提供了明确的指导，以确保产品（如硅芯片等）在生产过程中能够在一个高度洁净的环境中制造，从而保证产品质量和性能。