SCCM 是 标准毫升每分钟的缩写，即 Standard Cubic Centimeters per Minute。这是一个用于描述气体或液体在单位时间内从某一点流动的速率的体积流量单位。在标准条件下（通常是标准温度273.15K和标准压力101.325kPa），1 SCCM 等于 1 毫升每分钟。

与常见的流量单位（如1毫升每秒）不同，SCCM 是基于标准状态下的体积测量，而不是基于时间流量。这种单位在化学反应中特别有用，例如在化学气相沉积（CVD）过程中，需要精确控制原子成分比。

总结：

SCCM 是标准毫升每分钟（Standard Cubic Centimeters per Minute）。

用于描述在标准条件下单位时间内气体或液体的体积流量。

常见于化学反应中，如CVD，需要精确控制原子成分比。