三坐标测量机的精度可以达到微米级别，甚至更高。具体精度水平受到多种因素的影响，包括机械结构精度、导轨系统、测头系统、尺度系统和温度控制等。以下是一些具体实例：

悬臂式三坐标测量机：

其最大精度可以达到1微米，甚至更高。高品质品牌的三坐标测量机的光栅尺精度更是达到了纳米级别，例如进口高品质光栅尺的精度达到了0.078微米。

三坐标测量仪：

其精度通常在2微米以上，但高端设备的精度也可以达到很高的水平。例如，蔡司三坐标CenterMax在15℃~40℃的温度范围内都可以保持测量精度，其最高精度为（1.4+L/300）微米。

气动量仪：

其测量精度通常可以达到0.1微米，非常适合进行高精度测量。

综合以上信息，三坐标测量机的高精度水平可以达到微米甚至纳米级别，具体精度取决于设备类型、制造工艺和使用环境等因素。在选择三坐标测量机时，应根据实际测量需求和工件的几何尺寸来选择合适的设备精度等级。