高速超精密激光干涉仪是一种利用光的干涉原理来测量物体长度、厚度、形状、折射率等参数的高精度、高灵敏度的测量仪器。它具有以下主要用途：

高精度测量

线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备的导轨的线性定位精度、重复定位精度等。

对机床回转轴的测量与校准。

动态测量与分析

线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测。

位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

环境补偿

采用高精度环境补偿模块，实现激光波长和材料的自动补偿，保证干涉光路稳定可靠。

设备校准与修正

作为长度基准以及设备校准工具。

根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。

应用领域

科学研究：检测引力波、测量微小位移和振动。

工业制造：精密机械加工和质量控制，如光刻机、三坐标测量机、位移传感器等。

计量学：长度标准的校准。

通信：光纤传感和信号处理。

医学成像：在皮肤整形和激光治疗中应用。

其他应用

激光干涉仪还用于自动螺距误差补偿、机床动态特性测量与评估、回转坐标分度精度标定、触发脉冲输入输出功能等。

综上所述，高速超精密激光干涉仪在多个领域都有广泛的应用，尤其在精密测量和校准方面发挥着重要作用，是实现高端光刻机设备国产化的关键设备之一。